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超纯水又称UP水,是指电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。这种水中除水分子外,不含其它杂质,如细菌、病毒、含氯二噁英等有机物,也没有人体所需的矿物质等微量元素,即是去除氧和氢以外所有原子的水。可用于超纯材料(半导体元件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程。